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深冷分離制氮法所用設(shè)備包括空氣壓縮機(jī)、電加熱器、分餾塔、冷凝蒸發(fā)器等。與其他兩種工藝方法相比，它占地面積更大，工作步驟和內(nèi)容更多。與變壓吸附制氮相比，其投資略高。
與膜分離制氮法相比，投資較低。但在制氮能力方面，深度冷凍法與膜分離制氮、 PSA制氮相比，純度要高十倍以上，同純度相比，對氮?dú)獾奶崛÷室叱鼋?/span>50%；例如，對99.9%純度的膜分離制氮，深度冷凍法可達(dá)45%, PSA制氮法可達(dá)32.1%，而膜分離制氮法可達(dá)15%。因此，在實(shí)際應(yīng)用中，深度冷凍分離法具有較大的應(yīng)用價(jià)值和優(yōu)勢。
